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Im nebenstehenden Bild wird der Aufbau eines AFM schematisch dargestellt. Die zu untersuchende Probe befindet sich in der Mitte. Diese liegt auf den Piezo-Kristallen, welche die horizontale und vertikale Verschiebung der Probe ermöglichen. Über der Probe befindet sich die Spitze, welche durch atomare Kräfte die Probe abtastet.
Im nebenstehenden Bild wird er Aufbau eines AFM schematisch dargestellt. Das zu untersuchende Material, die Probe, ist in der Mitte zu sehen. Darunter befinden sich die Piezo-Kristalle. Mittels dieser Kristalle kann die Probe sowohl in x- (Breite), in y- (Tiefe) als auch in z- (Höhe) Richtung bewegt werden. Gleich über der Probe ist die Spitze, welche auf der Oberfläche liegt. Diese Spitze wiederum ist an einem Träger (Cantilever) befestigt, welcher auf seiner Oberseite einen Spiegel trägt. Darüber befindet sich der Ablenkungssensor, welcher die Bewegung des Trägers mittels eines Lichtstrahles aufzeichnet. Der Sensor gibt die Daten an die Kontrolleinheit weiter.
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